チュートリアル

開催方法

  • 「有機ELのデバイス物理:最先端有機ELディスプレイを理解するための基礎」及び「二次元材料のモアレ物性科学の基礎」は現地(東京都市大)・オンライン(Zoomウェビナー)のハイブリッド開催です。また、これらのチュートリアルは、録画し、4月3日(水)~4月16日(火)16時の期間、当該チュートリアル参加者限定で見逃し配信を実施予定です。質疑応答も配信いたします。
  • 「プラズマプロセスにおけるチャージングダメージ ~発生メカニズムから対策まで~」は現地のみの開催で、オンライン配信はございません。また、見逃し配信はございません。
  • お申込みは当ページ下部のお申込みボタンよりお願いします。お申込み締切は3月14日(木)正午で、当日受付はございません。
  • ウェブ会議室URL(※オンライン開催するもののみ)及び講義資料は、3月15日(金)にメールにてお送りする予定です。なお、どのチュートリアルも講義資料の紙での配布はございません。

講義内容

題目 【現地開催のみ・見逃し配信なし】

プラズマプロセスにおけるチャージングダメージ ~発生メカニズムから対策まで~

日時/会場 2024年3月22日(金)14:00~16:30 ※休憩10分含む / 12B会場
大分類 8.プラズマエレクトロニクス
内容 プラズマプロセスで発生するチャージングダメージは、デバイスの特性を劣化させたり、ゲート絶縁膜の破壊を引き起こし、LSIの歩留りや信頼性を低下させる原因となる。半導体デバイスの微細化・高集積化を牽引してきたドライエッチングの分野では、1980年代後半~1990年代にチャージングダメージが大きな問題となり、日本を中心に精力的に研究がなされた。その結果、チャージングダメージの全容が明らかになり、ほぼ全ての問題が解決された。しかしながら、現在でも量産工場において、チャージングダメージによるデバイス特性の劣化が散見される。その理由の一つとして、チャージングダメージの現象をきちんと理解できているエンジニアが減ってきているということが考えられる。そこで、本チュートリアルでは、チャージングダメージの全容を理解していただくべく、その発生のメカニズムから対策までを詳細に解説する。
本チュートリアルでは、初めにチャーングの測定方法、発生メカニズムについて解説する。次に、各種ドライエッチング装置、アッシング装置のチャージングダメージの評価結果及びその低減法を紹介する。その後、チャージングによるゲート酸化膜破壊のメカニズム、ゲート酸化膜破壊に及ぼす温度の影響について述べ、最後に、生産現場で実際に起こった不良事例を紹介する。
日本はチャージングダメージの深刻さに一早く気付き、主要半導体メーカーの多くの先駆的な研究により世界をリードした。いかにしてチャージングダメージの問題が克服されたのか、その歴史についても触れる。
講師名・講師略歴 野尻 一男(ナノテクリサーチ 代表)

1975年 (株)日立製作所入社。半導体事業部にてCVD、デバイスインテグレーション、ドライエッチングの研究開発に従事。特にECRプラズマエッチング、チャージングダメージに関して先駆的な研究を行った。また技術開発のリーダーとして数々のマネージメントを歴任。
2000年 ラムリサーチ(株)入社。取締役・CTOに就任。
2019年 独立。ナノテクリサーチ代表として技術及び経営のコンサルティングを行っている。
応用物理学会終身会員

<主な受賞>
1989年 大河内記念賞
1994年 機械振興協会賞通産大臣賞
2019年 DPS Nishizawa Award
2021年 SSDM Award

<主な著書>
Dry Etching Technology for Semicondctors (Springer, 2015)
改訂版 はじめての半導体ドライエッチング技術(技術評論社,2020)

題目 有機ELのデバイス物理:最先端有機ELディスプレイを理解するための基礎
(後援:有機EL討論会)
日時/会場 2024年3月22日(金)9:30~12:00 ※休憩10分含む / 1BM会場
大分類 12.有機分子・バイオエレクトロニクス
内容 スマートフォンから大型テレビジョンまで,有機EL ディスプレイの利用はこの数年,世界規模で急速に拡大している.今や液晶ディスプレイと並ぶ主要なフラットパネルディスプレイとしての地位が確立され,今世紀前半まで有機ELの時代が続くと予想される.
しかしながら,社会実装が進んでいる高性能有機ELについて,その動作機構や用いられる有機半導体の材料物性について広く共通理解が深まっているとは言えないのが現状である.そこで,本チュートリアルでは非晶性ガラス有機半導体を用いた典型的な素子構成である積層薄膜型素子を出発点として有機ELの動作原理を基礎から解説する.更に,タンデム構造,エキサイプレックス,分子配向,超高密度化ガラスなどの高効率化の鍵となる重要課題や,有機EL 特有の輝度劣化と駆動寿命の問題も取り上げ,デバイス物理の立場から系統的に学び,理解を深めることを目指す.
はじめに現代の高性能有機EL研究開発の現状と将来展望について概観した後,演者が最近出版した有機ELの教科書,「有機ELのデバイス物理」丸善出版(2023)の内容に沿って講義を進める.
講師名・講師略歴 筒井 哲夫(九州大学 名誉教授)

1969年九州大学大学院工学研究科応用化学専攻修士課程修了.

1971 年九州大学工学部助手,1986年九州大学大学院総合理工学研究科助教授,1995〜2008年同教授.

2006〜2012年(独)科学技術振興機構戦略的創造研究推進事業さきがけ「物質と光作用」研究総括.

2011〜2014年次世代化学材料評価技術研究組合常務理事.

2015年〜 (株)半導体エネルギー研究所顧問.

工学博士,九州大学名誉教授,応用物理学会フェロー.

主な著書に「有機エレクトロニクス入門」日刊工業新聞社(2012), 「有機EL研究概論:革新的イノベーションを生んだ科学と技術」丸善出版(2020), 「有機ELのデバイス物理」丸善出版(2023)など.

題目 二次元材料のモアレ物性科学の基礎
日時/会場 2024年3月22日(金)9:00~11:30 ※休憩10分含む / 1BL会場
大分類 17.ナノカーボン・二次元材料
内容 二次元物質を非整合に重ねたモアレ二次元物質では、格子構造の干渉によって生じるモアレ模様が電子やフォノンの性質を一変させる。その顕著な例の一つがツイスト二層グラフェンである。特に魔法角における超伝導の発見は、物質科学における一つのブレイクスルーとなった。このチュートリアル講演では、モアレ積層二次元物質系の物性研究の現状を解説する。超伝導を始めとする最近の実験を概観するとともに、モアレ電子系を記述する連続体理論を紹介する。グラフェンを超えた様々なモアレ二次元物質、準周期系、モアレフォノンに関する最近の研究についても紹介する。
講師名・講師略歴 越野 幹人(大阪大学 教授)

1998年 東京大学理学部物理学科卒業
2003年 東京大学大学院理学系研究科博士課程修了 博士(理学)
2003年 東京工業大学大学院理工学研究科 助手(2007年より助教)
2010年 東北大学大学院理学研究科 准教授
2016年 大阪大学大学院理学研究科 教授

申込方法

  • クレジットカード決済(VISA、master、JCB、American Express、ダイナースクラブ)・コンビニ決済(ローソン、ファミリーマート、セイコーマート、ミニストップ)がご利用いただけます。
  • お申込み締切の3月14日(木)正午までに、お申込み及びご入金を完了させてください。
  • お申込み完了後に、ご登録いただいたメールアドレス宛に領収書URLを記載したメールが自動送信されます。領収書はインボイス対応しています。他の形式をご希望の場合はmeeting(at)jsap.or.jpまでご連絡ください。

受講料(講義資料PDF含む)

社会人・学生(会員・非会員) 5,000円(税込)
※複数の講座へのお申込みが可能です。1講座毎に5,000円が必要です。

オンライン視聴・現地参加方法

〇オンライン視聴方法

  1. 3月15日(金)にチュートリアル参加用URLと、講義資料(PDF)を、オンライン参加の方・現地参加の方皆様に、メールにてお送りする予定です。こちらのメールをチュートリアル当日まで保存願います。メールが届かない場合はmeeting(at)jsap.or.jpまでご連絡ください。
  2. チュートリアル開始時刻になりましたら、メールに記載のリンクより、ご入室ください。
    Zoomのウェブ会議システムを利用して開催予定です。Zoomをインストールせずとも、ウェブブラウザからの参加も可能です。
    視聴にあたり、Zoomの有料契約を結んでいただく必要はございません。
  3. 講演会場には、聴講者の方にご利用いただけるオンライン環境がございません。オンライン参加される方は、自宅・勤務先・宿泊先等よりご参加ください。
  4. 受信映像の保存(画面キャプチャを含む)、録音、録画、再配布は禁止です。チュートリアル資料の再配布は禁止です。

    オンライン視聴マニュアル

〇現地参加方法

  1. 会場入口にて受付のものに名前をお伝えいただき入場してください。
  2. 当日参加申込は受け付けておりません。参加希望の方は、3月14日(木)正午までに以下よりお申込みください。

 


参加申込

参加申込締切:2024年3月14日(木)正午

チュートリアル 野尻 一男先生 参加申込(現地のみです)
チュートリアル 筒井 哲夫先生 参加申込
チュートリアル 越野 幹人先生 参加申込