JSAPフォト＆イラストコンテスト

ある材料の深掘りドライエッチング（Deep-RIE）の条件探索中の出来事です。比較のために用いたSi基板のエッチング形状を電子顕微鏡で観察していたところ，突然，絶景に出会いました。金属のエッチングマスクの上に雪（反応生成物）が積もり、絶妙な応力のバランスとアンダーカット形状で，北斎の浮世絵のような，標高約20 µmの富士山に雲がたなびく景色となりました。約30年前の電子顕微鏡のブラウン管のモニタを撮影したため、画面は緑色でノイズやチャージアップも多いですが，ミクロの世界の富士山をご堪能ください。

化学気相成長（CVD: chemical vapor deposition）法によって、合金上に成長した六方晶窒化ホウ素（h-BN: hexagonal boron nitride）を光学顕微鏡（Keyence VHX-7000）で撮影したもの。円盤状に成長した青く輝く多層h-BNとその中心の黒い異物はまるで、宇宙にできたブラックホールを思わせる。

トポロジカルフォトニッククリスタルの作製プロセスのうち、ICP-RIEによるエッチング条件検討を行った際に撮影したSEM像。構造物に見える部分がSiで、底面より下側はSiO2になっています。

SOI基板の断面SEM観察中にて発見した鳥の尾羽根のような物体。基板を切断した際に捻じれ捲れ上がったものが尾羽根のような形となって付着している。SOI基板の層を水平線と見立てて、その海に浮かぶ尾羽根を連想しました。